真空下熔化加压制造石英玻璃的方法。将经过严格处理的水晶或硅石粉料,放入炉内的石墨干锅发热体中,密闭炉体,通电前先抽真空,真空下通电升温,熔融后充入惰性气体达到一定的压力,几分钟后恢复常压,然后根据需要拉制成管、棒或制成锭材。
真空下熔化有利于气泡的排除,加压可将残余的微气泡压缩或溶解,因此可制得质量较高的透明石英玻璃。
若将此法制得的石英玻璃锭经处理后,二次加入拉制成石英玻璃棒或管,该工艺简称“电熔二步法”。此类产品气泡少,透明的高,但工艺较为复杂,成本较高。因此真空下熔化,该类石英玻璃OH含量极低,头红外光学石英玻璃(HS或JGS3或Ⅰ型)即是此法生产的。